是一种用于对大规模特殊气体的储存、使用和净化的系统设备。
大规模气体输送系统(BSGS)的及时应用有利于提高污染控制。首先大包装容器保证了气体品质的连续性,降低了多次充装污染风险。另外由于换瓶频率的减少,也减少了污染几率。BSGS多采用了深层吹扫,显著提高了吹扫效果。BSGS设备采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换,自动氮气吹扫,自动真空辅助放空;多重安全防护措施,泄漏侦测,远程紧急切断;专用氮气吹扫起源等等。较于其它公司的优势在于:不间断供气同时保证系统内气体的高纯度;为客户降低气体输送系统的成本;采用与气瓶柜相似的技术规格;磅秤与加热系统为可选项,可根据客户要求进行配置。



安全功能介绍
紧急停止按钮:按下紧急停止按钮即可关断所有的气动阀。
远程紧急停止控制:当远程紧急停止动作驱动则即可关断所有的气动阀。
I.A压力开关:当气动阀驱动压力不足时则会输出警报告知。设定压为 0.4 ~ 0.63 Mpa
过温开关:当侦测到箱体环境温度高于设定值时则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。设定温度为70℃
紫/红外线火焰感知器:当感测到火灾发生时作动,则会输出警报告知并且自动关闭所有阀件。
过流量开关:当管路内的流量过大导致驱动过流量开关(EFS),则会输出警报告知并且自动关闭该使用侧的阀件。
压差开关:当箱体内的压差过小的状态下,则会输出警报告知。设定压差为50 Pa以上。当压差不足,当气体外泄时时易发生气体扩散出箱体,故开启箱体门前敬请注意箱体与大气的压差是否足够。
火灾探测器
一至三个火灾探测器可被连接到气柜,当报警信号触发时刻立即停止设备的运行,火灾探测器可安装在箱体的内部或外部。
当设备用于可燃或是自燃气体的时候,都必须要使用火灾探测系统。火灾探测系统可被连接到控制器上与之相对应的火灾探测节点,它的使用可由最终用户或创洁来提供。
气体探测器
一个气体探测器可被连接到气柜,当报警信号触发时刻立即停止设备的运行,气体探测器可安装在箱体的外部。
当控制器被用于毒性气体是,都必须要使用气体探测系统。气体探测系统可被连接到控制器上与之相对应的气体探测接点或是控制器上的用户输入端口,它的使用可由最终用户或创洁来提供。
远程气体关闭
一个远程气体关闭接点可被连接到气柜,当报警信号触发时刻立即停止设备的运行,外部气体关闭开关可安装在箱体的外部。
排风系统
一个排气系统可被连接到气柜,报警信号出发时可立即停止设备的运行或发出报警信号(用户可设定),排气系统可安装在箱体的内部或外部。
工艺气体排放
工艺气体排放的排放管线最小直径为3/8”且管线的转弯处数量要尽量少用,还要有适当地排放处置地点(如Scrubber等废气处理装置)。
排风系统
出于安全因素的考虑,排风系统要被连接到期柜内,以便于有害气体意外泄漏时能拍像一个指定的(如Scrubber等)废气处理装置。对排风量的要求:用热力式风速仪在窗口附近风速达200LFM,对硅烷需在硅烷刚瓶口处风速达200LFM..
F1控制系统主画面和操作模式页面:
直接触碰画面即可进入控制系统主画面,如下图所示:

按下开机画面将主动呈现于屏幕上,并且包含了所有的主要系统讯息,以及操作页面,使操作人员能够立即掌握系统的作业情形,无须彷徨与画面切换的迷阵之中。

F2警报一览表和压力/F3 LOAD CELL趋势


F4警报/操作历程记录和F5讯息留言


F6警报值及操作参数设定和加热系统温度控制


[返回] |