为保证气体纯度，排除生产中的由气体带来的不确定因素，同时提高成品率，延长设备使用寿命。 典型气体类型：N2，Ar,H2，O2 气体流量范围：N2：10-60Nm3/h，Ar：10-60Nm3/h，H2：10-30Nm3/h，O2：5-10Nm3/h。根据应用产业的不同而有所区别。

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