■ 产品


Scrubber

废气处理Scrubber可分为干式吸附、加热水洗式和喷淋水洗式废气处理。

Scrubber适用于多种特殊气体的处理，如HCL,CL2，SiCL4，SiH2CL2，HF,SiH4，NH3，AsH3，PH3等。设备处理量大，效率高，能耗小，操作安全，PLC控制，易于维护，处理后的尾气有害成分低，根据处理量可设计不同规格。电加热水洗式Local scrubber

 

Main Application of POU/Local Scrubber



PID（Process & Instrument Diagram）


Process Application Example

Resin Disposal Procedure

[返回]